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기록
기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
발명patent.status.granted
6조회수
§ Ⅰ
개요
출원인
발명자
야마모토 시게루; 나가이 야스히코; 이와타 게이지; 아키야마 다카시; 이토 아키라; 후지이 다이키; 고다 가즈키; 니시노 요스케; 가와이 유야; 에다미쓰 겐지
출원일
Apr 24, 2024
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
H1L 21/67H1L 21/687
CPC 분류
H1L21/67017H1L21/68742