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기록

캐리어 웨이퍼 재생 방법

발명patent.status.granted
8조회수
§ Ⅰ

개요

출원인

특허 출원인 기록

발명자

이종명; 김진배

출원일

Apr 23, 2024

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 21/2H1L 21/304H1L 21/3105

CPC 분류

H1L21/2032H1L21/2024H1L21/304H1L21/31051

외부 자료

Google PatentsEspacenet