CMP 성능을 개선하기 위한 플래튼 표면 변형 및 고성능 패드 컨디셔닝

출원인

발명자

이, 크리스토퍼 형-균; 아이에르, 아난드 니라칸탄; 트란, 하이옌 캐런; 정, 건봉

출원일

Aug 27, 2021

공개일

Dec 31, 2025