CNIPA.AI
검색으로 돌아가기
기록

정밀 플라즈마 제어 시스템

발명patent.status.granted
5조회수
§ Ⅰ

개요

발명자

젬바, 티모시; 밀러, 케니스; 프라거, 제임스; 무글리, 케빈; 한슨, 에릭

출원일

Jan 31, 2020

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1J 37/32

CPC 분류

H1J37/32174H1J37/3211H1J37/32146H1J37/32532H1J2237/334