기록

금속 함유막 형성용 중합체, 금속 함유막 형성용 조성물 및 패턴 형성 방법

발명patent.status.granted

3조회수

§ Ⅰ

개요

출원인

발명자

고바야시 나오키; 이와모리 쇼헤이; 고리 다이스케

출원일

Dec 18, 2023

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

G3F 7/4C7F 7/22G3F 7/8G3F 7/38G3F 7/9G3F 7/11H1L 21/27H1L 21/311H1L 21/3213

CPC 분류

G3F7/42G3F7/48G3F7/85G3F7/38G3F7/92G3F7/11H1L21/274H1L21/332H1L21/337H1L21/31144H1L21/32139

외부 자료