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기록
플라즈마 발생 장치
발명patent.status.granted
§ Ⅰ
개요
출원인
발명자
최대규
출원일
Feb 15, 2021
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
H1J 37/32H5H 1/46
CPC 분류
H1J37/3211H1J37/3244H1J37/32467H1J37/32522H1J37/32834H5H1/4652H1J2237/2H1J2237/3321H1J2237/3341H1J2237/335
출원인
발명자
최대규
출원일
Feb 15, 2021
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
CPC 분류