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6조회수

§ Ⅰ

개요

출원인

특허 출원인 기록

발명자

김형규; 오승훈; 김은석; 권혜빈

출원일

Jun 10, 2024

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 21/67

CPC 분류

H1L21/67034H1L21/67098H1L21/67248

외부 자료

Google Patents Espacenet