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5조회수
§ Ⅰ

개요

출원인

특허 출원인 기록

발명자

김형규; 오승훈; 김은석

출원일

May 28, 2024

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 21/687H1L 21/67H1L 21/677

CPC 분류

H1L21/68785H1L21/67017H1L21/67778H1L21/68742H1L21/68764

외부 자료

Google PatentsEspacenet