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№ KR1029068020000B1
기록
웨이퍼의 제조 방법 및 적층 디바이스 칩의 제조 방법
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발명
patent.status.granted
7
조회수
§ Ⅰ
개요
출원인
특허 출원인 기록
발명자
김영숙; 장병덕; 카와이 아키히토; 테라니시 슌스케
출원일
Oct 19, 2021
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
H1L 21/52
H1L 21/683
H1L 21/78
H1L 25/
H1L 25/65
H1L 25/7
H1L 25/75
CPC 분류
H1L21/52
H1L21/6835
H1L21/78
H1L25/657
H1L25/74
H1L25/756
H1L25/50
H1L2221/68327
외부 자료
Google Patents
Espacenet