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기록

금속 도핑된 붕소 막들

발명patent.status.granted
4조회수
§ Ⅰ

개요

출원인

특허 출원인 기록

발명자

아이딘, 아이컷; 청, 루이; 자나키라만, 카르틱

출원일

Apr 19, 2022

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 21/2C23C 16/22C23C 16/509H1L 21/33H1L 21/311

CPC 분류

H1L21/2274C23C16/22C23C16/5096H1L21/2112H1L21/22H1L21/332H1L21/31144

외부 자료

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