氢化物气相外延过滤器、过滤器清理装置及清理方法

本发明提供一种氢化物气相外延过滤器、过滤器清理装置及清理方法，氢化物气相外延过滤器包括：壳体以及抗压止挡件，上述壳体上设有加压口以及粉尘排出口，上述抗压止挡件设置于上述粉尘排出口中。上述氢化物气相外延过滤器具有压力维持的第一状态和压力瞬时释放的第二状态，在第一状态下，上述壳体的内部与上述收集结构之间具有稳定的压差，通过上述抗压止挡件瞬时开启上述粉尘排出口，使得上述壳体处于第二状态且壳体内部的粉尘进入到上述收集结构。本发明可实现粉尘清理效率、操作安全性、工艺兼容性与材料质量保障的全方位提升，其为氮化镓外延生长工艺提供了高效稳定的尾气处理解决方案。