一种锗氟化过程中氟化氢杂质的去除方法及装置

本发明提供一种锗氟化过程中氟化氢杂质的去除方法及装置，所述方法包括：获取含有氟化氢杂质的氟气气体；对所述含有氟化氢杂质的氟气气体进行吸附处理，去除部分氟化氢杂质，得到初步处理后的氟气气体；将所述初步处理后的氟气气体与锗粉发生反应，得到含有氟化氢杂质的四氟化锗气体；将所述含有氟化氢杂质的四氟化锗气体依次经过冷凝、闪蒸纯化、再冷凝和吸附处理，得到净化后的目标四氟化锗气体，所述目标四氟化锗气体中的氟化氢含量低于预设值。本发明的方案可以高效去除四氟化锗气体中的氟化氢杂质。