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기록

TGV基板的修复方法及其修复装置

발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

张喆; 彭谞睿; 石海燕; 李进; 张利; 张紫辰

IPC 분류

B22D 19/10 (2006.01)H10W 70/05 (2026.01)

本发明提供一种TGV基板的修复方法及其修复装置,其中方法包括:确定玻璃基板上存在结构缺陷的金属柱所在的位置,得到缺陷位置信息,金属柱沿上下方向贯穿玻璃基板;根据缺陷位置信息,采用贝塞尔光束自下而上照射存在结构缺陷的金属柱,以将存在结构缺陷的金属柱中被贝塞尔光束照射的部位加热至熔化并重铸,实现对存在结构缺陷的金属柱的修复。本发明能够提高TGV基板的良率。

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