一种高热膨胀低温共烧陶瓷材料及其制备方法

本发明属于低温共烧陶瓷材料领域，特别是一种高热膨胀低温共烧陶瓷材料及其制备方法。该制备方法利用氟化物和玻璃作为双烧结助剂，将氧化钙粉末、氟化物粉末与玻璃粉混合，加入粘结剂进行粉末压片，制成厚度均匀的圆形薄片，经真空热压固相烧结后可获得具有高热膨胀系数的低温共烧陶瓷材料。本发明操作简单、条件易于控制、成本低廉。本发明制备的低温共烧陶瓷材料导热系数在3‑5W/(mK)，热膨胀系数与第三代半导体器件热膨胀系数相匹配，在电子封装材料及其制造领域有很大的应用前景。