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기록

导电层的制备方法、TCO导电玻璃以及电池

발명유효
12청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

张建东; 方洋; 高阳阳; 万军鹏

IPC 분류

C03C 17/34 (2006.01)C23C 16/40 (2006.01)H10F 77/20 (2025.01)

本发明公开了一种导电层的制备方法、TCO导电玻璃以及电池,涉及导电玻璃技术领域,其中,导电层的制备方法包括以下步骤:在基板上依次沉积第一透明导电层以及第二透明导电层,得到导电层;沉积所述第一透明导电层的原料包括锡源以及第一氟源,沉积所述第二透明导电层的原料包括锡源、第一氟源以及第二氟源;其中,所述第一氟源包括氟化氢以及三氟乙酸中的至少一种;所述第二氟源包括氟化亚锡;本发明提供的技术方案可以使氟在导电层厚度方向上的分布更为均匀,降低TCO导电玻璃的面电阻,以及TCO导电玻璃的可见光透过率,也可以有效降低膜层在高温高湿下剥落的风险,提高TCO导电玻璃的稳定性。

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