大型万吨级超细氮化硅粉体生产方法

本发明公开了一种大型万吨级超细氮化硅粉体生产方法，其特征是：包括以下步骤：S1、使三氯氢硅发生歧化反应，生成含硅烷和四氯化硅的混合物，对所述混合物进行分离提纯，分别得到高纯的硅烷和高纯的四氯化硅；S2、使步骤S1得到的所述硅烷与氨气在流化床反应器中进行反应，得到目标产物氮化硅、副产物氢气以及过量氨气，对氮化硅和氢气、氨气进行收集；S3、使步骤S1得到的所述四氯化硅、步骤S2得到的所述氢气以及硅粉进行冷氢化反应，重新生成三氯氢硅；S4、将步骤S3生成的所述三氯氢硅返回步骤S1循环使用。本发明为封闭式反应系统，自制硅烷，降低生产成本，便于量产。