一种多腔室旋转式气相沉积炉

本发明公开了一种多腔室旋转式气相沉积炉，其包括固定基座及环形阵列布置的多个可转动的反应炉，每个反应炉内置可转动的零件台，反应炉内设有加热元件以及扰流片，通过驱动装置可驱动反应炉以及零件台同时且相反转动，供气管路、真空管路分别与每组反应炉管路连接，通过供气电控阀可独立调节各腔室的反应气体流量，通过抽气电控阀可独立控制各腔室的抽气速度，通过第一通断部件、第二通断部件可实现反应炉、零件台的旋转控制，实现从化学气相沉积到物理气相沉积在不同气压、气流及温度要求的工艺，该设计通过反应炉与工件的协同旋转，结合扰流作用，确保了反应气体分布均匀与沉积层的一致性，提高了多品种、多工艺零件的沉积生产效率与质量。