铝钕合金靶材及其制备方法

本发明涉及靶材制造技术领域的一种铝钕合金靶材及其制备方法，包括以下步骤：添加高纯铝和原子百分比为0.15‑2%的金属钕，以及30‑100ppm硅为原料，经熔炼法制备AlNd合金锭；在350‑450℃均匀化退火，消除偏析，并切头去尾，铣掉表皮；AlNd合金铸锭在300℃‑500℃区间加热；加热至350℃‑600℃轧制；进行热处理；对其进行冷轧；进行分级退火；水切割去除无效部分，再将其机加工后再焊接至背板上，得到高纯铝钕合金靶材。本发明所制备的铝钕合金靶材致密度高，Al、Nd含量分布均匀，再结晶充分完成，整体组织均匀，偏析改善，抗腐蚀能力提升，适于替代纯铝进行薄膜溅射。