一种可控的纳米通道及其制备方法与应用

本发明属于纳米材料制备技术领域，公开了一种可控的纳米通道及其制备方法与应用，具体是基于液相沉积反应器的可控高度纳米通道制备方法及应用。该方法为使用异丙醇、去离子水分别冲洗基底；将基底放入沉积反应器中；选择性沉积，向反应器中通入前驱体溶液对所述基底沉积薄膜。本发明实现纳米通道高度的精准调控，解决传统方法中纳米通道高度控制精度低、工艺复杂、成本高的问题。在高深宽比纳米通道中进行ALD、ALE、MLD实验，通过原位表征测定表面吸附量及反应进度，推测出前驱体的扩散系数与反应速率。