一种小型元件CVD涂覆装置

本发明公开了一种小型元件CVD涂覆装置，所述反应器腔室呈圆弧状，反应室的腔体内壁镀金，反应室的上盖内按照由热灯，反应室内的加热盘载物台在反应室的反应室进气端接通一个切向旋流发生器，切向旋流发生器包括由绝缘材质制成的分配器和多个长度不一的中空管状导引头，中空管状导引头的出口端内且与螺旋微槽对应处嵌有环状金属电极，环状金属电极电性连接有高压脉冲电源，加热盘载物台设有接地电极，接地电极与环状金属电极相互匹配构成电流回路。实现对小型产品内外表面CVD过程的精准、均匀、可控涂覆。