一种锯齿真空溅射镀方法

本发明涉及工件表面处理技术领域，公开了一种锯齿真空溅射镀方法，包括：基体预处理、锯齿真空溅射形成机械咬合结构、交变浸泡‑倾斜旋转催化活化实现选择性活化、脉动搅拌辅助的双液交替化学镀形成复合镀层、双液间隙气体吹扫消除交叉污染、表面均化处理、分级钝化处理等步骤。本发明通过锯齿溅射层与化学镀层的复合结构，形成机械咬合与化学键合的双重结合方式；采用交变浸泡‑倾斜旋转催化活化消除方向依赖性，实现凹槽内催化剂可控富集；采用脉动搅拌辅助镀覆技术克服深凹槽传质受限；采用气体吹扫技术消除双液交替污染；形成镍‑磷/镍‑钨交替的多层复合结构，兼具高硬度和高韧性。