一种用于碳化硅长晶系统的高效节能冷却系统

本发明主要涉及制冷设备技术领域，具体是一种用于碳化硅长晶系统的高效节能冷却系统，包括循环动力模块、换热模块、相变强化冷凝器、节流模块，换热模块包括进行换热的主换热回路和辅助换热回路，在辅助换热回路上，依次设置有相变强化冷凝器、循环动力模块、节流模块，循环动力模块用于推动载冷剂在辅助换热回路的循环，相变强化冷凝器用于对载冷剂进行冷凝处理，还包括设置在相变强化冷凝器外壁侧面的雾态冷却模块，雾态冷却模块通过产生水雾喷射至相变强化冷凝器表面，进行辅助降温处理。本发明结构相对简单，可靠性高，维护成本低，而且运行噪音和振动显著降低，且能够实现极低的运行能耗和更高的能效比。