加热组件、半导体加工设备以及拆装治具

本发明提供了一种加热组件、半导体加工设备以及拆装治具，有效解决了因炉丝蠕变变形导致的安全缺陷，如炉丝下垂、匝间短路、对地短路、局部过热和加速断裂等问题，同时改善了热场均匀性和工艺稳定性。加热组件包括多个加热单元和多个支撑件。所述多个加热单元沿第一方向间隔设置，所述加热单元包括炉丝和保护框架，其中，所述保护框架配置为环形结构，所述保护框架包括多个保护件，所述保护件的内侧设置有凹槽，所述多个保护件沿所述保护框架的圆周方向依次连接，且多个所述保护件的凹槽相互连通形成安装槽，所述炉丝可拆卸地设置在所述安装槽中；多个支撑件分别可拆卸地设置在相邻的加热单元之间。