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기록
位移检测器、表面性状测定仪及真圆度测定仪
발명유효
7조회수
17청구항 · 4 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
森井秀树
IPC 분류
G01B 7/02 (2006.01)G01B 7/28 (2006.01)G01B 7/34 (2006.01)
提供能够测定多个方向的位移、且具有简单的结构并且能够进行高精度的测定的位移检测器、表面性状测定仪及真圆度测定仪。位移检测器(20)具备:检测器主体(30);大致L字形的触针(40),其具有与测定对象物(W)的被测定面相接触的触头(44);触针保持部(33),其设置于检测器主体(30),用于将触针(40)保持为能够以包含相互正交的第1方向以及第2方向的面作为摆动面进行摆动;位移检测部,其设置于检测器主体(30),用于检测伴随触头(44)与被测定面的接触而产生的触头(44)的位移。