光栅位置传感器

本发明涉及传感器技术领域，提供一种光栅位置传感器，扫描组件与光源模块保持相对固定，扫描组件内部设置有入射光阑和增量探测器，增量探测器在空间上被划分为至少两个用于探测第一相位增量信号分量的第一探测器区域和至少两个用于探测第二相位增量信号分量的第二探测器区域，至少两个第一探测器区域在空间上相互分离设置，以对第一相位增量信号分量进行冗余探测；至少两个第二探测器区域在空间上相互分离设置，以对第二相位增量信号分量进行冗余探测；位置计量元件适于固定至被测物体上或测量基准面上，可与扫描组件产生相对位移。本发明提供一种抗污染能力强的光栅位置传感器，可在复杂或恶劣的工业环境中长时间保持高可靠性的工作状态。