反射式投影物镜的位置测量装置及调节系统

本发明涉及光学工程技术领域，提供一种反射式投影物镜的位置测量装置及调节系统，该测量装置包括测量单元和处理单元，测量单元包括三个光栅干涉仪，三个光栅干涉仪分别设置于反射镜的三个侧面，光栅干涉仪用于测量反射镜的位置信息并输出相应的测量信号；处理单元用于接收三个光栅干涉仪输出的测量信号，并基于三个测量信号确定反射镜的空间位姿信息。本发明通过在反射镜的三个侧面布置的光栅干涉仪，可获取反射镜多个方位的位置信息，利用处理单元对多路测量信号进行处理，可解算出反射镜的空间位姿信息，实现对反射镜位置的准确性测量，有效改善像差校正能力与成像稳定性，从而提高反射式投影物镜的成像质量。