一种用于纳米坐标测量机的非接触式测头装置和测量方法

本发明公开了一种用于纳米坐标测量机的非接触式测头装置和测量方法，所述测头装置包括激光全息测量模块、光学显微成像模块和信号处理模块，激光全息测量模块包括半导体激光器、距离半导体激光器近的直条纹光栅和距离半导体激光器远的全息光栅、分别位于半导体激光器左右两侧的第一和第二光电探测器、第一透镜、第二透镜、第一分光镜和显微物镜；信号处理模块根据激光全息测量模块得到的电信号计算离焦误差信号，利用被测样品表面离开显微物镜焦平面的离焦量与离焦误差信号的线性关系，计算出样品表面每个测量点的离焦量，结合纳米坐标测量机的坐标值，得到样品表面每个测量点的坐标值。本发明能够提高瞄准分辨率，实现高精度、高分辨率三维测量。