一种光栅位移传感器指标测试平台及其容差测试方法

本发明涉及光学测量技术领域，尤其涉及一种光栅位移传感器指标测试平台及其容差测试方法。光栅位移传感器指标测试平台包括第一测试平台和第二测试平台，第一测试平台包括第一传感器容差调节组件和第一光栅尺位移组件。本发明提供的光栅位移传感器指标测试平台，解决了相关研究领域光栅位移传感器性能指标测试平台研究不足的问题，与现有技术相比，该测试平台能够适用于不同工作距离的高精度光栅位移传感器的测试，可以实现多指标同步测试、多个光栅位移传感器同步测试以及多种大行程容差姿态下多性能指标综合测试的需求，并能够更加全面地评估光栅位移传感器的性能。