一种平晶的平面度批量自动检定系统及检定方法

本发明公开了一种平晶的平面度批量自动检定系统及检定方法，其包括：取料机构、待检区和已检区，待检区和已检区均设有多个阶梯槽，阶梯槽的凹槽内均设有力传感器，其检定方法中，获得待检区力传感器检测的压力F，然后根据待检区的压力‑力传感器对照表，吸盘将待检区中压力F对应的力传感器所在位置的凹槽内的平晶转运至检定台。与现有技术相比，本发明中，通过阶梯槽和力传感器的配合实现了自动上下料，提高了平晶检定效率。尤其是在平晶上料过程中，平晶检定工作不需要待平晶全部上料完，能够快速开始平晶检定；第二，平晶上料没有顺序要求，降低了上料的难度，第三，可以随时在待检区补充平晶，确保平晶检定不会出现中断情况。