一种压力-磁场复合双模态谐振式MEMS传感器

本发明属于微机电（MEMS）系统技术领域及压力/磁场检测技术领域，具体提供一种压力‑磁场复合双模态谐振式MEMS传感器，用以解决现有谐振式MEMS传感器在同一谐振结构上仅能对单一物理参量进行检测的技术问题。本发明采用通过两个折叠梁锚点固定的圆环谐振单元结构，利用该谐振单元的兰姆波非对称模态，在面外Z轴方向实现对表面接触压力的高精度测量；同时，利用该圆环谐振单元的面外拍动模态，实现对面内Y轴方向磁场强度的精确检测；基于此，本发明通过在同一谐振结构中引入两种独立的工作模态，使器件能够同时完成压力与磁场两个物理量的复合感知，且两种模态在工作过程中互不干扰，从而有效减少芯片面积占用，提升系统集成度。