一种微流量传感器封装结构及封装方法

本发明涉及一种微流量传感器封装结构及封装方法，属于传感器封装技术领域。本发明封装结构由毛细管绕组和外壳结构组成，为气密性封装，内部为真空环境，可减小外界环境对传感器灵敏度及工作点的影响，实现微流量传感器工作环境的稳定，保证地面测试和空间应用性能指标的一致性；另外，本发明封装结构具有机械、流体、电气接口的敏感元件，可实现敏感元件的独立标定和安装，使该产品成为适用于地面和空间应用的通用化产品。