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案件記録

一种称重传感器及蒸镀坩埚镀料闭环系统

発明有効
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8請求項 · 2 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

吴子敬; 徐伟; 马永; 蒋碧含; 刘旭; 宋向阳

IPC分類

G01G 19/52 (2006.01)G01G 17/00 (2006.01)G01G 21/08 (2006.01)C23C 14/30 (2006.01)C23C 14/54 (2006.01)C23C 14/56 (2006.01)

本申请涉及真空卷绕镀膜设备的技术领域,公开了一种称重传感器及蒸镀坩埚镀料闭环系统,一种称重传感器,包括:台座,呈块状结构,台座由上至下贯穿开设有两穿孔,两穿孔之间留有实体部,台座开由上至下开设有贯穿槽,通过贯穿槽将台座分割成固定部和形变部,形变部局部通过实体部与固定部连接;连接柱,安装于形变部上,应变片,贴敷于穿孔内壁上,应变片为弧形片状,应变片弧向的一端和形变部固定连接,应变片连接有多根信号线,放大器,和应变片的信号线电连接,通过应变片应变量确定形变部承受压力的大小,并形成电信号反馈到放大器上;固定部设置有环形通道,用于供冷却介质通入。本申请能够提升重量检测灵敏度。

外部リソース