高精度强抗干扰性能的宽带光干涉型悬臂梁固有频率检测装置及方法

本发明提供了高精度强抗干扰性能的宽带光干涉型悬臂梁固有频率检测装置及方法，包括近红外宽带光、单模光纤耦合器、渐变折射率透镜、单点式光谱仪和上位机；光源辐射出具有带宽的近红外宽带光并由入光口进入到单模光纤耦合器中；所述近红外宽带光经单模光纤耦合器传输至探测光出光口，经过渐变折射率透镜后分成参考光与探测光；所述探测光经渐变折射率透镜聚焦至悬臂梁表面并被其背向散射而回与经渐变折射率透镜端面反射而回的参考光在单模光纤耦合器耦合并形成干涉；所述干涉信号经单模光纤耦合器传输由回光口输入到单点式光谱仪中。本技术方案能够在实现大振幅振动测量的同时保持高精度，显著提升悬臂梁固有频率测量的准确性与可靠性。