一种低串扰的制冷型红外偏振探测器及其制备方法

本发明公开了一种低串扰的制冷型红外偏振探测器及其制备方法，该探测器由下至上依次由制冷型红外探测器芯片组、偏振调制阵列、微支架及光场汇聚阵列所组成，其制备方法为：以薄膜生长、光刻、刻蚀等工艺组合实现偏振调制阵列片上集成，抑制衍射串扰；基于分立衬底，以纳米压印等工艺组合制备光场汇聚阵列；采用三维堆叠集成，避免器件损伤，满足光场汇聚阵列与探测器芯片组特定垂直距离要求，实现高耦合精度。本发明将金属线栅阵列直接制备于探测器芯片组表面，并在探测器芯片组前方配置了光场汇聚阵列，使聚焦光斑落在对应像元中心位置，抑制了衍射效应及光生载流子跨像元输运引起的信号串扰。本发明的探测器具有高消光比、高灵敏度优势。