一种宽温区智能温度传感器设计及其制备方法

本申请提供一种宽温区智能温度传感器设计及其制备方法，包括：绝缘衬底、薄膜温度传感单元、薄膜恒值参考电阻单元和金属电极层，所述薄膜温度传感单元和所述薄膜恒值参考电阻单元通过MEMS工艺在绝缘衬底上方形成布局，并通过所述金属电极层实现信号传输；其中，所述薄膜温度传感单元包括温度敏感薄膜，所述薄膜恒值参考电阻单元包括恒值电阻薄膜，所述温度敏感薄膜制备于所述绝缘衬底上方，所述恒值电阻薄膜制备于绝缘衬底上方，所述温度敏感薄膜通过所述金属电极层与所述恒值电阻薄膜连接。本申请实现薄膜温度传感器单元和薄膜恒值参考电阻单元的在单片衬底上的集成化，显著减小器件尺寸，提高响应速度。