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案件記録
气压传感器、气压传感器的气压检测方法和电子设备
発明有効
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§ Ⅰ
案件概要
発明者
王超; 闫文明; 李向光
IPC分類
G01L 9/06 (2006.01)G01L 9/12 (2006.01)G01L 11/00 (2006.01)G01L 19/14 (2006.01)G01L 19/06 (2006.01)
本申请提供了一种气压传感器、气压传感器的气压检测方法和电子设备,该气压传感器包括基板;壳体,壳体设置于基板上并与基板围成容纳腔;气压MEMS芯片和压力MEMS芯片,气压MEMS芯片和压力MEMS芯片设置于容纳腔并均与基板电连接;气压MEMS芯片和压力MEMS芯片之间形成高度差。本申请利用气压MEMS芯片和压力MEMS芯片之间的高度差,使气压MEMS芯片和压力MEMS芯片感受到的压力变化不同,进而能够区分是实际气压变化引起的压力变化,还是固体异物或者液体引起的压力变化,能够快速准确判断实际的气压值,提升气压传感器的抗干扰能力,保障气压传感器的检测精度和稳定性。
外部リソース