一种基于硅谐振压力传感的解算精度补偿方法

本发明属于航空机电大气数据系统领域，具体设计一种基于硅谐振压力传感器的解算精度补偿方法。设置温度测试点Ti，i取值1‑n；设置压力测试点Pj，j取值1‑m；将硅谐振压力传感器保温至Ti，分别为其施加压力P1~Pm，在每一个压力下测试硅谐振压力传感器的两路输出频率f1_ij、f2_ij；得到所有温度测试点、所有压力测试点对应的两路输出频率；分别生成压力多项式和温度多项式；根据所有温度测试点、所有压力测试点对应的两路输出频率分别对压力多项式和温度多项式进行拟合；利用拟合后的压力多项式计算不同压力和不同温度测试点下的自校准误差，形成误差补偿表；正式测量时，在误差补偿表中差值计算补偿值；硅谐振压力传感器测量压力=压力基准值+补偿值。