基于超声波耦合的微米压痕力学性能测试装置及测试方法

基于超声波耦合的微米压痕力学性能测试装置及测试方法，涉及材料力学性能检测技术领域，为了解决现有技术存在的问题，该装置包括光学蜂窝定位板、滑台、支撑架、超声换能器安装底座、超声波换能器、位移传感器、力传感器、压头、固定夹具、试件、超声波发生器和工控机；工作时，开启超声波发生器，将超声波信号传递到超声波换能器上，然后由工控机控制滑台进行移动，滑台带动支撑架运动，使支撑架上的超声波换能器安装底座、超声波换能器、位移传感器和压头共同运动，压头在滑台的移动与超声波换能器的振动下精确地对试件施加压力以形成压痕，同时，工控机同步收集位移传感器的位移值与力传感器的压力值并记录。