一种原子氧设备的中性化金属板溅射污染控制方法和系统

本申请涉及空间环境效应地面试验技术领域，提供一种原子氧模拟试验的中性化金属板溅射污染控制方法和系统。该方法包括：根据溅射产额与靶材元素原子序数的关系曲线，确定中性化金属板；将所产生的氧等离子体按照优化后的入射角度引导至所确定的中性化板，使氧等离子体在所述中性化板表面中和形成原子氧，并将所述原子氧导向待测试样品；控制对所述中性化板所施加的偏压，以使在保证经所述中性化金属板反射的原子氧能量和中和效率的同时，入射氧离子能量低于中性化板的溅射阈值，有效控制溅射；控制中性化金属板的温度，防止中性化金属板溅射水平增加。本申请有效控制了试验过程中性化金属板溅射污染。