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기록
一种光学腔的调节系统和调节方法
발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
출원인
国家石油天然气管网集团有限公司; 国家石油天然气管网集团有限公司科学技术研究总院分公司; 中国科学院合肥物质科学研究院
발명자
蔡永军; 陈朋超; 刘嘉星; 张珂; 张志荣; 张静; 杜磊; 郭闻浩; 高海康; 夏滑; 庞涛; 吴边; 孙鹏帅
IPC 분류
G01N 21/03 (2006.01)G01N 21/39 (2006.01)
本发明公开了一种光学腔的调节系统和调节方法,其中,光学腔包括第一腔镜和第二腔镜;调节系统包括:光源、分束单元、准直单元、位姿调整单元、成像单元和控制单元;光源用于出射测试光束;分束单元用于将测试光束分束为第一测试光束和第二测试光束;准直单元用于调制第一测试光束和第二测试光束重合;位姿调整单元用来调节第一腔镜和第二腔镜的位姿;成像单元用于对测试光束进行成像;控制单元用于根据成像图案控制位姿调整单元调整第一腔镜和第二腔镜的位姿。在本发明实施例中,通过搭建光学调节系统,在第一腔镜和第二腔镜上分别设置位姿调整单元,实现了自动化调节过程,提高了腔镜调节的精度和准确性,降低了光学腔调节的难度。