一种晶圆背面及边缘检测装置及方法

本申请提出了一种晶圆背面及边缘检测装置，包括：基座，以及安装于基座上的旋转升降模组、夹持升降模组、运动方向转换模组和视觉检测模组；旋转升降模组包括：旋转机构和升降机构；升降机构内设置用以放置晶圆的支撑部，且升降机构配置用于将晶圆顶升离/下降至工作位；旋转机构配置用于为运动方向转换模组提供圆周方向运动趋势；运动方向转换模组设置于旋转升降模组和夹持升降模组上方，并由夹持升降模组驱动实现竖直方向上位移，以及将夹持升降模组的升降运动转换为运动方向转换模组的径向位移；视觉检测模组，其包括相机单元，相机单元朝向晶圆，视觉检测模组配置用于对晶圆进行图像采集及检测。