一种变收集角的片上薄膜样品表面缺陷检测装置及方法

本申请公开了一种变收集角的片上薄膜样品表面缺陷检测装置及方法，涉及表面缺陷检测领域，该装置包括：激光器提供照射薄膜样品表面的激光光源；光束整形模块对激光光源进行偏振态调整和光束会聚；真空吸附平台固定薄膜样品；位移模块带动真空吸附平台及薄膜样品运动；散射光收集模块收集薄膜样品表面因缺陷产生的散射光并将散射光转换为电信号；收集角度调节模块调节散射光收集的方向；控制器用于处理采集模块采集的电信号；根据电信号确定薄膜样品的缺陷类型；通过两个收集角度的散射光确定薄膜样品缺陷类型的缺陷尺寸和缺陷数目，本申请能够在检测过程中实现散射光收集中心角度和收集角度范围的调节。