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기록

时间分辨带电粒子显微镜检查的方法

발명유효
1조회수
14청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

B·亨德里克森; J·德鲁特

IPC 분류

G01N 23/04 (2018.01)G01N 23/2202 (2018.01)G01N 23/2251 (2018.01)G01N 1/28 (2006.01)

本发明涉及一种时间分辨带电粒子显微镜检查的方法,所述方法包括提供用于带电粒子显微镜检查的样品的步骤,其中所述样品包含第一粒子和第二粒子,并且其中所述样品包含在所述第一粒子与所述第二粒子之间的阻隔材料。所述方法进一步包括将所述阻隔材料的至少一部分液化以使所述第一粒子与所述第二粒子之间能够发生相互作用的步骤。最后,可以在带电粒子显微镜中观察到所述第一粒子与所述第二粒子之间产生的相互作用。