一种能量色散x射线荧光光谱仪的高灵敏度探测方法及系统

本申请提供一种能量色散x射线荧光光谱仪的高灵敏度探测方法及系统，涉及x射线荧光光谱探测技术领域，本申请通过采集待测样品的光谱数据获得含光子数量分布的初始光谱信息，与元素特征图谱库匹配分析并解析化学位移效应，生成带元素化学态标记的增强特征谱；据此调节光束筛选系统激发参数，优化晶体反射条件与入射角度得到匹配的单一波长激发条件参数；将两者经双通道架构交叉关联融合形成多维分析特征，再通过分层特征空间变换与识别模型适配建立分级映射关系，完成元素化学态的高灵敏度识别，能够通过光谱数据解析、激发参数优化、双通道协同处理及分层映射建模，实现对样品中元素化学态的高灵敏度识别。