TGV上集成的电感式生物传感器及制作方法

本发明公开了一种TGV上集成的电感式生物传感器及制作方法，包括第一基板、第二基板和导电材料。第一基板和第二基板沿第一方向相对设置，第一基板分别设有贯穿自身的第一通孔和第二通孔，第一通孔、第二通孔均填充导电材料，以形成环绕第一方向的螺旋导电路径，以构成电感元件。本申请还设有微流道，第一基板朝向第二基板的表面和第二基板朝向第一基板的表面均被配置为微流道的内壁，沿垂直于第一方向的方向，微流道分别和第一通孔、第二通孔间隔，微流道适于容纳待测介质和磁珠，电感元件能够产生磁场，以适于感测磁珠并产生电感变化。本申请的TGV上集成的电感式生物传感器体积小、灵敏度高、具有高深宽比，稳定性强且成本低。