一种微型化低剖面柔性海洋电偶式pH传感器及其制备方法

一种微型化低剖面柔性海洋电偶式pH传感器及其制备方法，本发明是要解决现有柔性pH传感器的剖面厚度较大，可靠性不足的问题。本发明微型化低剖面柔性海洋电偶式pH传感器中工作电极系统和参比电极系统设置在柔性聚酰亚胺基底上，所述工作电极系统包括氧化铱工作电极、第一金属传导电路层和第一金属焊盘，氧化铱工作电极通过第一金属传导电路层与第一金属焊盘相连，所述参比电极系统包括参比电极、第二金属传导电路层和第二金属焊盘，参比电极通过第二金属传导电路层与第二金属焊盘相连。本发明利用纳米晶氧化铱感测层显著提升了pH响应性能，其灵敏度达72.76 mV/pH，且在3 m/s高流速海洋环境中实现16.84 s快速响应。