一种气体流速与浓度的超声波检测方法与系统

本发明公开了一种气体流速与浓度的超声波检测方法与系统，涉及半导体气体浓度检测领域，包括以下步骤：在待测气体管道上布置第一超声波换能器和第二超声波换能器；控制第一换能器发射超声波，并由第二换能器接收，获得第一飞行时间；控制第二换能器发射超声波，并由第一换能器接收，获得第二飞行时间；基于第一飞行时间和第二飞行时间之间的数学关系，计算得到气体管道内气体的平均流速；利用得到的气体平均流速、第一飞行时间或第二飞行时间、传播路径长度及非零夹角，计算得到气体中的声速；根据计算得到的气体声速，结合气体物理性质参数，确定气体的浓度。采用上述方案，能够通过单一技术手段同步、高精度、非接触地测量气体的流速和浓度。