一种晶圆键合界面电阻率监测装置

本发明公开一种晶圆键合界面电阻率监测装置，包括测试功能模块，测试功能模块包括样品放置平台和非接触测试设备，样品放置平台用于放置测试样品，测试样品为第一样品、第二样品、或第一样品和第二样品键合后的整片样品，非接触测试设备包括探头，探头与测试样品间隔一定距离，基于非接触测试设备依次获取第一样品对应的第一电阻率、第二样品对应的第二电阻率、及第一样品和第二样品键合后的整片样品对应的第三电阻率，进而获取界面电阻率。本发明可以彻底消除电极制备环节，避免样品损伤与界面特性失真，确保测量反映原始键合状态，同时可以克服宽禁带材料测试瓶颈，提升界面电阻率测量的普适性与精度。