CNIPA.AI
검색으로 돌아가기
기록

一种基于芯片非均匀性效应的筛选方法

발명유효
9청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

魏林程; 倪炜江; 刘强

IPC 분류

G01R 31/26 (2020.01)H10P 72/00 (2026.01)H10P 74/00 (2026.01)G01R 31/28 (2006.01)G01B 21/00 (2006.01)

本发明提供了一种基于芯片非均匀性效应的筛选方法,它包括以下步骤:获取晶圆探针测试数据,并建立与晶圆芯片空间分布对应的坐标系;对得到的晶圆探针测试数据进行环形分组统计,通过分析分组统计结果识别晶圆是否存在径向效应或边缘效应;若判定晶圆不存在径向效应及边缘效应,则采用全局统计方法对整个晶圆的探针测试数据进行筛选;若判定晶圆存在径向效应或边缘效应,则先将晶圆划分为内径区域与外径区域,再对内径区域的探针测试数据采用全局统计方法筛选,对外径区域的探针测试数据采用残差滤波结合中位绝对偏差法筛选;根据筛选结果,剔除失效芯片。本发明避免因未识别非均匀效应而误判的问题,提升效应识别准确性。