一种半导体器件测试探针及其半导体器件测试方法

本发明涉及半导体器件的测试及其测试探针技术领域，具体涉及一种半导体器件测试探针及其半导体器件测试方法。本发明首先在每个测试监测时刻，获取测试探针的接触稳定系数，进一步确定其预设历史测试时段内每种异常接触类型下的所有异常接触时刻，进而根据异常接触类型的总数量与接触稳定系数，以及不同异常接触类型下异常接触时刻的预设时域内接触电阻的变化分布，获取测试探针的压力施加异常系数并调整施加压力。本发明通过分析接触电阻的变化特征评估接触状态，进而评估测试探针的施加压力异常情况，以调整施加压力，从而确保测试探针与器件测试点之间的良好接触，提高半导体器件的测试准确性。